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大腔體雙靶磁控濺射儀 SSG-200A

大腔體雙靶磁控濺射儀 SSG-200A

鍍膜儀器
提高觀察效果
可大批量樣品同時使用
在封閉腔室中,放置陽極靶材,充入氣體,保持一定的真空度,在陽極和陰極之間加載高壓,會發生輝光放電現象。電離的氣體離子會轟擊、侵蝕陽極靶材。靶材原子會因此向四周擴散,在磁力的束縛下在一定范圍內沉積,最終在樣品表面形成一個均勻的鍍層。這個鍍層可以抑制荷電,減小熱損傷,提高二次電子產率,從而改善掃描電鏡觀察效果。平時使用時,最常見靶材的是金靶。正是這個原因,離子濺射儀也俗稱“噴金儀”。然而,為了獲得更細小的晶粒尺寸、更薄的連續鍍層,有時候也會使用其他靶材(比如鉻、鉑金、銅)。
全國服務熱線
400-8866-090
留言資訊
  • 產品概述
  • 技術參數
  • 選型指南
  • 視頻介紹

大腔體雙靶磁控濺射儀 SSG-200A

鍍膜儀器
提高觀察效果
可大批量樣品同時使用
在封閉腔室中,放置陽極靶材,充入氣體,保持一定的真空度,在陽極和陰極之間加載高壓,會發生輝光放電現象。電離的氣體離子會轟擊、侵蝕陽極靶材。靶材原子會因此向四周擴散,在磁力的束縛下在一定范圍內沉積,最終在樣品表面形成一個均勻的鍍層。這個鍍層可以抑制荷電,減小熱損傷,提高二次電子產率,從而改善掃描電鏡觀察效果。平時使用時,最常見靶材的是金靶。正是這個原因,離子濺射儀也俗稱“噴金儀”。然而,為了獲得更細小的晶粒尺寸、更薄的連續鍍層,有時候也會使用其他靶材(比如鉻、鉑金、銅)。
全國服務熱線
400-8866-090
留言資訊
大腔體雙靶磁控濺射儀 SSG-200A
產品概述

技術參數
配置
詳細參數說明
樣品腔尺寸
直徑300mm*高度130mm
低真空度
極限真空度:<0.1Pa,工作真空度:0-10Pa
高真空度
極限真空度:<10-3Pa,工作真空度:0.1-2Pa
靶材尺寸
規格:直徑57mmx0.1mm厚,數量:2個
樣品臺轉速
4-20rmp
抽速
66L/min
濺射電流
1-500mA,連續可調
濺射時間
1-999s,連續可調
保護氣
氬氣
選型指南

選型指南

視頻介紹

視頻正在制作中...

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