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燥樣品：晶圓片干燥專用，，適用于多種尺寸樣品，每次最多5片樣品；

觀察視窗：帶藍(lán)寶石視窗和照明的高壓樣品腔，便于觀察樣品池內(nèi)部情況；

樣品池材質(zhì)：316L不銹鋼一體加工，ep處理，適用于液態(tài)二氧化碳、高純乙醇、IPA和丙酮；

制冷模式：內(nèi)置壓縮機(jī)制冷，避免了二氧化碳制冷造成的氣體浪費(fèi)，制冷溫度可快速達(dá)到0℃；

樣品池填充：PTFE樣品室填充環(huán)可以調(diào)整樣品室內(nèi)徑到適配2”，4”，6”晶圓片，節(jié)省LCO2用量，縮短干燥時間，提高干燥效率；

過濾系統(tǒng)：包含雙級過濾，一級過濾精度：0.5um，二級過濾精度：0.003um；

生產(chǎn)工藝：全部生產(chǎn)，測試流程均在無塵室操作，配件均為高潔凈度；

壓力控制：儀器備有超壓自動泄壓系統(tǒng)，確保壓力可控；

軟件設(shè)計(jì)：內(nèi)置多種處理程序，也可自定義程序并重復(fù)使用，圖形化界面顯示；

回收循環(huán)：可選配帶有co2回收接口的二氧化碳高壓泵，可實(shí)現(xiàn)co2增壓和循環(huán)；

機(jī)箱設(shè)計(jì)：堅(jiān)固防腐蝕的箱體，桌面放置，節(jié)省空間。